德國MLase激光器  MLI-HP-500KrF技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品詳情

Mlase  MLI-200 / 500 / 1000 激光器

MLase 的現(xiàn)代緊湊型 MLI 系列激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脈沖能量高達(dá) 16 mJ，重復(fù)頻率高達(dá) 1，000 Hz，由于光束輪廓均勻，能量穩(wěn)定，適用于要求苛刻的應(yīng)用。后綴為LC的激光器還可以選擇主動水冷（通過家用水或外部熱交換器;無去離子水），以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行。

MLase MLI激光器

MLI-200 / 500 / 1000 激光器

MLase現(xiàn)代緊湊型MLI 激光器是波長為193nm或248nm的紫外光源，具有高達(dá)16mJ的高脈沖能量和高達(dá) 1,000 Hz 的脈沖重復(fù)頻率。

它們是市場上使用壽命最長、可靠性、運(yùn)營成本的獨(dú)立設(shè)備。它們均勻的鋼型材和能量穩(wěn)定性使它們非常適合要求苛刻的應(yīng)用。還能夠進(jìn)行主動水冷卻（使用生活用水或外部熱交換器；無需純凈水），以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的連續(xù)運(yùn)行?？梢蕴峁㎝LI激光器的產(chǎn)品技術(shù)資料，安全技術(shù)資料，操作說明，維修手冊，工廠能提供原產(chǎn)地證明，（MLI-HP-500KrF）

激光器常見問題

工廠已確認(rèn)過的：

MLase AG MLI-HP  500 KrF-FBG

其中 MLI=型號，HP=高功率，500=重復(fù)率； KrF=波長248nm； FBG=光纖布拉格光柵

與標(biāo)準(zhǔn) KrF 高功率激光器相比，F(xiàn)BG 型號的能量降低了 20%。

客戶可以運(yùn)行 16 mJ 的激光，能量運(yùn)行得越高，氣體的壽命就越短。10 mJ只是普通（非高功率）激光器的典型值。

激光器已經(jīng)包含了模塊，激光管等，只是兩種版本包含的如激光管是不同的，（光學(xué)模塊 OC193，分束器，備用氣體洗滌器，交換管MLI-激光）等配件是常用的備件，可供客戶選擇的。

產(chǎn)品優(yōu)勢

高可靠性

均勻的光束輪廓

即時(shí)可用，不老化

管子全金屬密封

數(shù)十億個(gè)脈沖的延長壽命

能量穩(wěn)定

應(yīng)用場景

• 微電子與半導(dǎo)體：晶圓標(biāo)記、鈍化層刻蝕、MEMS 加工、光刻膠曝光。

• 光學(xué)與顯示：光學(xué)薄膜圖案化、玻璃 / 藍(lán)寶石精密打孔與劃線、柔性屏加工。

• 材料科學(xué)：聚合物表面改性、陶瓷 / 復(fù)合材料精密刻蝕、薄膜制備與退火。

德國MLase激光器  MLI-HP-500KrF技術(shù)參數(shù)